報告題目：稱量分子的工具—MEMS諧振式微懸臂梁傳感器
報告人：于海濤 研究員 中國科學院上海微系統與信息技術研究所
報告時間：2019年4月3日下午13:15-14:50
報告地點：材料樓210會議室
報告摘要：近年來，我國在食品安全、生產安全等公共安全領域重大事件頻發，成為影響人們生活和社會安定的重要因素。究其原因，主要是缺乏有效的監控手段，使得公共安全問題只能由重大事件爆發或行內人員“爆料”式發現，此時往往已經造成了重大危害。如何建立主動有效的監控預警機制是從根本上解決這類公共安全問題的當務之急，但目前有害物的檢測往往需要在實驗室進行復雜的操作，檢測效率低、覆蓋面窄并且速度慢。具有現場檢測能力、靈敏、快速、便攜和易操作的生化傳感器是實現公共安全有效監測和防控的重要途徑。諧振式懸臂梁生化傳感器正是一種具備以上優點的傳感器，除此以外，其還具有與IC兼容、可批量制造、低成本等特點，具有巨大的市場潛力。本報告將介紹課題組在諧振式微納懸臂梁生化傳感器方面的研究成果，包括其原理、設計、工藝制造以及目前取得的應用成果。
報告人簡介：于海濤，1981年出生，男，中國科學院上海微系統與信息技術研究所研究員、博士。2004年畢業于北京大學物理學系，獲得物理學學士學位；2009年畢業于中國科學院上海微系統與信息技術研究所，獲微電子學與固態電子學專業博士學位；2009年至今在中國科學院上海微系統與信息技術研究所傳感技術聯合國家重點實驗室工作；2016年入選中國科學院青年創新促進會；2019年起任研究員。在Journal of Materials Chemistry A、Analytical Chemistry、IEEE Transactions on Industrial Electronics、Small、Lab on a Chip等SCI期刊上發表論文30余篇，H指數為15；在領域頂級國際會議發表會議報告20余篇；獲得授權發明專利15項。長期從事基于MEMS諧振懸臂梁技術的生化傳感器研究，研制出集成微懸臂梁生化分子痕量現場檢測傳感平臺。以此傳感平臺為工具，制備了多種生化傳感器，系列傳感器可以實現對沙林毒氣、肝癌抗原、TNT爆炸物、CO2、氨氣等的痕量快速檢測，檢測下限可達ppb量級甚至ppt量級，為國際領先或先進的痕量檢測水平。其中多款傳感器獲得了應用，并得到產業化。
